This is early beta for now! Can't handle all templates properly
Hankkija
| Vastaanotettu Hilmaan | 2023-10-03 |
| Ilmoituksen numero | 2023-137717 |
| TED numero | 2023/S 193-601460 |
| Ostajaorganisaatio | VTT Technical Research Centre of Finland Ltd (2647375-4 ) P.O. Box 1000, VTT FI-02044 Espoo https://www.vttresearch.com/en |
| Hankinnan otsikkotiedot | Plasma ALD |
| Hankinnan yhteenlaskettu kokonaisarvo koko ajalle (ilman alv:ta) arvio | |
| Hankinnan yhteenlaskettu kokonaisarvo koko ajalle (ilman alv:ta) lopullinen | 1 586 196 EUR |
| Alkuperäinen ilmoitus | https://www.hankintailmoitukset.fi/sv/public/procurement/88279/notice/137717/overview |
| Originaali JSON tietue | 137717.json |
Ostettava
| Hankinnan lyhyt kuvaus | The object of the tender is a 2-chamber Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Cluster with Automatic Wafer Handling (later also “Equipment” and/or "Tool") for coating of 200mm wafer substrates, or substrates that can be placed on such carrier wafers, with different metals, nitrides and oxides with process separation between metals/nitrides and oxides, and wafer handling from chamber-to-chamber and chamber-to-cassette without vacuum breaking. The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents. |
| Hankintanimikkeistö (CPV) pää | Miscellaneous general and special-purpose machinery (42900000) |
| Hankintanimikkeistö (CPV) muut | |
| Aluekoodi | FI1B |
| Pääasiallinen suorituspaikka | Espoo |
Sopimukset
| Päätös päivämäärä | 2023-09-06 |
| Sopimusnumero | |
| Myyjät | Veeco GmbH (DE) |
